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行業(yè)資訊

攻克芯片漏電難題 TI高-K介電薄膜帶曙光

ainet.cn   2007年07月03日

  德州儀器公司(TI)宣布在其45納米高性能芯片中使用高-K介電薄膜,從而進入高-K介電薄膜新時代。

  TI計劃在柵層疊應(yīng)用中使用高-K介電薄膜,因為傳統(tǒng)二氧化硅材料快用完了。多年來高-K介電薄膜一直被考慮用于處理芯片設(shè)計中的漏電和功率問題。

  TI計劃在SunMicrosystems的Sparc芯片中首次使用高-K介電薄膜,并在45納米及其以后的芯片繼續(xù)使用。IBM、Intel和NEC已經(jīng)分別宣布了使用高-K介電薄膜的工藝,TI的高-K介電薄膜具有一定的優(yōu)勢。

  通過使用氮化CVD技術(shù),TI能夠在不降低其他參數(shù)的情況下解決漏電的問題。

(轉(zhuǎn)載)

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