英國威格斯公司(Victrex plc)近日宣布，世界領先光罩全方位解決方案供貨商——家登精密股份有限公司(Gudeng Precision Industrial)已采用VICTREX PEEK聚合材料作為其最新款150mm單光罩標準機械接口傳送盒，簡稱光罩傳送盒應用的主要組件材料。
　　透過將VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、極少的顆粒產(chǎn)生量、高潔凈度以及強ESD性能等特性用于與光罩的所有接觸點上，此款專門設計的光罩傳送盒，能有效地在生產(chǎn)、傳送以及處理光罩過程中，減少產(chǎn)生任何顆粒或釋氣。
　　光罩傳送盒應用的關鍵在于處理傳送盒的過程中，包括打開與關上輸送箱時，需減少或避免產(chǎn)生任何顆?；蜥寶?。因此，用戶必須仔細選擇輸送箱的材料。家登精密選擇VICTREX PEEK聚合材料，是因為該材料具有硬度高、顆粒產(chǎn)生量極少、潔凈度高及ESD性能強等特性。此外，這種聚合材料還具有卓越的耐化學腐蝕性、耐磨損性、耐水解性、非常優(yōu)異的電介質(zhì)強度及出色的耐輻射性能，因此能夠滿足、甚至超越該應用對關鍵材料的全部要求。特別是VICTREX PEEK的粒子脫落特性較其它競爭材料更為優(yōu)越，而且具有極低的可萃取物特性或揮發(fā)特性。
目前利用這些性能的關鍵半導體應用包括CMP保持環(huán)、晶圓傳輸、晶圓存儲及晶圓箱(FOUP)。

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