SEMI日前發(fā)布五項(xiàng)新的半導(dǎo)體制造技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。這些標(biāo)準(zhǔn)由來自設(shè)備與材料供應(yīng)商、器件制造商以及其他參與SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目廠商的技術(shù)專家們開發(fā)制定,可通過購買CD-ROM或在SEMI網(wǎng)站上下載獲得。
SEMI標(biāo)準(zhǔn)每三年發(fā)布一次。這些新的專利作為2008年11月版的一部分,加入到過去35年中SEMI已發(fā)布的775個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中。
“這些新的SEMI標(biāo)準(zhǔn)是基于產(chǎn)業(yè)專家們的合作與共識(shí)而制訂的?!盨EMI國際標(biāo)準(zhǔn)主管JamesAmano說道,“這些標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行將幫助廠商應(yīng)對(duì)日益增加的制造挑戰(zhàn),改善收益率,并實(shí)現(xiàn)設(shè)備工藝的全球化兼容?!?
五項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)分別是:
SEMIE139.3
XML/SOAPBindingforRecipeandParameterManagement
(配方和參數(shù)管理的XML/SOAP結(jié)合)
SEMIG87
SpecificationforPlasticTapeFramefor300mmWafer
(300mm晶圓塑料帶框規(guī)格)
SEMIM73
TestMethodsforExtractingRelevantCharacteristicsfromMeasuredWaferEdgeProfiles
(由標(biāo)準(zhǔn)晶圓邊緣提取相關(guān)特征的測(cè)試方法)
SEMIM74
Specificationfor450mmDiameterMechanicalHandlingPolishedWafers
(450mm拋光晶圓機(jī)械搬運(yùn)規(guī)格)
SEMIT20
SystemArchitectureforPreventing/DetectingSemiconductorCounterfeitProducts
(半導(dǎo)體仿冒品防止/探測(cè)系統(tǒng)架構(gòu))