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傳感器

40臺(tái)烤箱(芯片老化)溫度專用監(jiān)視記錄系統(tǒng)

ainet.cn   2009年02月04日
一、概述：此系統(tǒng)是對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過程中，需要對(duì)出產(chǎn)的芯片進(jìn)行老化檢驗(yàn)這一工藝而開發(fā)的專用系統(tǒng)。它全自動(dòng)對(duì)40臺(tái)烤箱(芯片老化，共240個(gè)溫度點(diǎn))的溫度按年月日同時(shí)進(jìn)行24小時(shí)全天采集監(jiān)視記錄，值班人員可隨時(shí)根據(jù)烤箱的溫度數(shù)據(jù)情況確認(rèn)當(dāng)前數(shù)據(jù)是否異常，并且可以保存確認(rèn)記錄，以便今后查看、打印歷史記錄。運(yùn)用此系統(tǒng)，用戶可以大大提高生產(chǎn)效率，減輕工人的工作量，同時(shí)，對(duì)公司的產(chǎn)品質(zhì)量的提高提供了一手的原始數(shù)據(jù)。目前已經(jīng)有4套系統(tǒng)在日月光(上海)半導(dǎo)體的三個(gè)車間運(yùn)行，溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫為0--250℃，溫度誤差±2℃。更新速度1次/秒，保存速度1次/分。

二、.技術(shù)指標(biāo)：

烤箱數(shù)：40臺(tái)

每個(gè)烤箱溫度點(diǎn)：6個(gè)

總溫度點(diǎn)：40x6=240個(gè)

熱電偶類型：J、K(默認(rèn))、T、E、R、S、B、N

AD分辨率：24位

更新速度：1次/秒

采集模塊：采用本公司ZP1018模塊，共用40個(gè)模塊

主機(jī)模塊：采用本公司ZP1090模塊，共用5個(gè)模塊

每個(gè)主機(jī)模塊帶8個(gè)ZP1018模塊

通信模式：HEX模式（本公司特有模式，推薦用）

通信波特率：9600bps

通訊接口：RS485接口，2線制

通信距離：1200米，加中繼器可以更長距離

電壓精度等級(jí)：±0.05% FSR或更高

溫度精度等級(jí)：根據(jù)用戶的熱點(diǎn)偶的精度等級(jí)確定

系統(tǒng)工作溫度：-20℃～70℃

（轉(zhuǎn)載）

標(biāo)簽：40臺(tái) 烤箱 (芯片老化) 溫度 專用 監(jiān)視 記錄系統(tǒng) 我要反饋 
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