隨著環(huán)保法規(guī)以及排放標(biāo)準(zhǔn)的升級(jí)，汽車/摩托車發(fā)動(dòng)機(jī)為了實(shí)現(xiàn)充分燃燒，減少排放的目的，通常需要在進(jìn)氣歧管上安裝（溫度）壓力傳感器（TMAP）來(lái)快速精確的控制空燃比，以實(shí)現(xiàn)動(dòng)力性、燃油經(jīng)濟(jì)性和排放之間的平衡，而車規(guī)級(jí)亞毫秒響應(yīng)時(shí)間絕壓傳感器是內(nèi)燃機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的關(guān)鍵器件之一。同時(shí)對(duì)于油改氣的車型，也需要通過(guò)安裝噴油嘴附近的壓力傳感器來(lái)檢測(cè)進(jìn)氣壓力，以實(shí)現(xiàn)充分燃燒和減少排放的目的。
蘇州納芯微電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“納芯微電子”)日前宣布推出汽車集成式絕壓傳感器NSPAS3 / NSP163X系列。
納芯微NSPAS3系列是一款基于硅的壓阻效應(yīng)并采用先進(jìn)的MEMS微加工工藝設(shè)計(jì)而成的汽車級(jí)集成式絕壓傳感器。該產(chǎn)品主要采用汽車級(jí)信號(hào)調(diào)理芯片對(duì)MEMS芯體（NSP163x）的輸出進(jìn)行校準(zhǔn)和補(bǔ)償，能將10kPa至400kPa的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為可自定義輸出范圍（0~5V）的模擬輸出信號(hào)。內(nèi)置的車規(guī)級(jí)MEMS絕壓壓力芯體（NSP163x）是基于高靈敏度的單晶硅壓阻效應(yīng)并采用先進(jìn)的硅硅鍵合CSOI MEMS微加工工藝設(shè)計(jì)而成，其制造平臺(tái)經(jīng)過(guò)IAFTF16949認(rèn)證，每片晶圓都通過(guò)100% AOI檢測(cè)以及CP測(cè)試，產(chǎn)品在生命周期內(nèi)精度和穩(wěn)定性優(yōu)于±1%F.S.，此外，AEC-Q103可靠性標(biāo)準(zhǔn)也正在認(rèn)證中。
該系列MEMS晶圓芯體（NSP163x）以及合封產(chǎn)品（NSPAS3）主要應(yīng)用于汽車進(jìn)氣歧管壓力檢測(cè)以及摩托車進(jìn)氣通路壓力檢測(cè)，也可用于混動(dòng)/新能源真空助力系統(tǒng)（VBS）和電池包壓力檢測(cè)，在工業(yè)控制，氣象站等應(yīng)用上也有它的用武之地。
NSPAS3 / NSP163X系列主要特點(diǎn)
?高精度低功耗
高度線性，穩(wěn)定性好，無(wú)需校準(zhǔn)，100%溫度補(bǔ)償，0℃~85℃輸出精度優(yōu)于±1%F.S.，-40℃~130℃全溫范圍內(nèi)精度優(yōu)于±1.5%F.S.，且工作電流小于3mA。
?多種輸出方式
支持模擬比例/絕對(duì)輸出，適用于多種應(yīng)用需求，簡(jiǎn)單便利，可移植性好。
?車規(guī)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
高達(dá)18V的高壓供電，支持反壓-24V過(guò)壓28V保護(hù)，可承受3x過(guò)載壓力和5x爆破壓力，具有較高可靠性與穩(wěn)定性。
?響應(yīng)迅速
小于0.8ms的快速響應(yīng)時(shí)間，可以快速控制空燃比。
?定制化產(chǎn)品
10kPa~400kPa內(nèi)量程可定制，支持多種壓力應(yīng)用場(chǎng)景，靈活性高，也可提供MEMS晶圓定制化產(chǎn)品。
納芯微NSPAS3同樣采用MEMS壓阻技術(shù)，能夠很好的兼容外商產(chǎn)品，無(wú)縫實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，且響應(yīng)時(shí)間更快，功耗更低，還具有更強(qiáng)的過(guò)載與耐爆破壓力能力。相較于外商芯片供應(yīng)，納芯微作為國(guó)產(chǎn)芯片提供商，擁有自主研發(fā)的MEMS設(shè)計(jì)與封裝技術(shù)以及多壓力溫度點(diǎn)自動(dòng)化批量標(biāo)定技術(shù)，能夠更好的保證交付，降低客戶供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)納芯微還可以根據(jù)客戶需求提供定制化MEMS晶圓產(chǎn)品以及合封產(chǎn)品，滿足不同場(chǎng)景的應(yīng)用需求。
目前可提供工程樣品的還有模組封裝（5kPa~150kPa）的汽車級(jí)表壓集成傳感器以及汽車級(jí)貴金屬差壓MEMS傳感器晶圓，后續(xù)都將陸續(xù)推向市場(chǎng)。
（轉(zhuǎn)載）
