縱觀半導體設備的發(fā)展歷史，不難發(fā)現(xiàn)半導體設備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移：從70-80年代的美國，到80-90年代的日本，再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

　　隨著中國高端制造技術的不斷發(fā)展，與本身龐大的市場需求相互幫襯，未來十年，中國有望成為半導體芯片制造的全球中心。

　　目前，在國家重大科技專項的支持下，集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產(chǎn)線的設備國產(chǎn)化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩(wěn)定性等性能要達到極高的標準外，傳感器也被要求實現(xiàn)更多的檢測任務。

　　作為有著超過75年歷史的工業(yè)傳感器領先生產(chǎn)廠商，SICK具有深厚的技術積累，豐富的產(chǎn)品種類，可以為半導體設備廠商提供更多樣的產(chǎn)品、更優(yōu)異的性能以及更專業(yè)的服務。

1、硅板厚度測量

　　產(chǎn)品系列：OD5000位移測量傳感器

　　訂貨號：6063621

　　客戶應用:

　　太陽能硅片分選機，客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度，精度要求為2um

　　采用2*OD5000-C30T05上下組合方式，來測量硅片的厚度

　　客戶利用上位機接受數(shù)據(jù)做算法處理，判定硅片的規(guī)格

　　客戶受益：

　　雙頭側厚，通過以太網(wǎng)接口和集成在傳感器內(nèi)部評價單元，無需額外控制器計算

　　高達80kHZ測量頻率，準確測量微小變化

　　激光定位更加柔性，可視覺，產(chǎn)品定位精度更高

　　實時在線測量，相對于線激光方案，節(jié)省成本，精度更高

2、石英載具到位檢測

　　產(chǎn)品系列：WTF12G

　　訂貨號：1065719

　　客戶應用：

　　石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

　　需要對半透明石英載具進行穩(wěn)定到位檢測，由于熱處理中溫度較高，無法安裝反射板，只能選擇漫反射。

　　檢測距離較遠，無法使用V鏡頭光電傳感器。

　　客戶受益：

　　WTF12G是漫反射前景抑制型原理，無需反射板，只需對背景進行示教即可

　　可以穩(wěn)定地檢測透明、半透明等物體

　　檢測距離可達700mm

3、硅片檢測：

　　產(chǎn)品系列：G2F，WTV4FE

　　WTV4FE訂貨號：1105444

　　GTB2F訂貨號：1093737

　　客戶應用：

　　檢測硅片的到位與有無，硅片表面光學性能特殊，普通漫反射光電很難穩(wěn)定檢測

　　安裝空間十分有限，需要迷你型尺寸光電

　　無法安裝鏡反射與對射型光電

　　客戶受益：

　　G2F扁平型外觀設計，可以安裝在狹小的空間中

　　獨特的V型鏡頭設計，可穩(wěn)定檢測高反光、透明薄膜，深黑色吸光平面。

　　WTV4FE可進行旋按式示教，V鏡頭檢測距離增加至50mm

　　產(chǎn)品系列：WTT4SLC

　　訂貨號：1097190

　　應用需求要點：

　　檢測距離400-500mm

　　檢測邊緣，客戶需要光斑盡可能小

　　安裝位置有限制，只能接受漫反射光電

　　客戶受益：

　　WTT4SLC時間飛行原理，可穩(wěn)定從傾斜角度或側面檢測帶有弧度的物體，并且不受物體表面顏色和材質的影響

　　具有優(yōu)異的背景抑制性能，可穩(wěn)定屏蔽背景干擾

　　漫反射檢測，最遠可達到1.3m檢測距離

　　光斑聚攏，4mm(1m)，可以從側面檢測薄片邊緣

4、Roller(輸送輪)粗糙度區(qū)分：

　　產(chǎn)品系列：Glare系列光澤度傳感器

　　應用需求要點：

　　現(xiàn)場面板傳輸設備運輸基板一段時間后，基板與Roller摩擦導致Roller表面光滑，失去輸送力。

　　不同摩擦情況不同導致基板受力不均勻，造成良率下降，稼動率降低，客戶使用Glare光澤度傳感器對Roller表面粗糙程度進行檢測。

　　客戶受益：

　　原本客戶解決方法為工作人員定期停機檢查，使用自制比對卡進行人眼對比觀察。

　　使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下：

　　降低檢測誤差

　　減少檢查時間

　　節(jié)省人力資源

（轉載）