據(jù)外媒報(bào)道，在德國(guó)微電子研究工廠（FMD）支持下，弗勞恩霍夫（Fraunhofer）科學(xué)家及其合作伙伴開(kāi)發(fā)出一種高分辨率廣角激光雷達(dá)系統(tǒng)。原則上，這樣的系統(tǒng)由激光器、發(fā)射激光束的掃描儀和讀取反射激光束的捕捉光學(xué)元件組成，且各個(gè)組件可通過(guò)合適的電子接口相互通信。
在該項(xiàng)目中，費(fèi)迪南德布勞恩研究所（Ferdinand Braun Institute）提供了一個(gè)脈沖激光源，包括控制電子器件；弗勞恩霍夫微電子電路和系統(tǒng)研究所（Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems，IMS）開(kāi)發(fā)出一種帶有預(yù)處理電子器件的捕獲光學(xué)器件；弗勞恩霍夫硅技術(shù)研究所（Fraunhofer Institute for Silicon Technology，ISIT）生產(chǎn)出MEMS掃描儀。ISIT旗下公司OQmented將上述各個(gè)組件集成到一個(gè)完整的系統(tǒng)中。
該激光掃描儀搭載了MEMS技術(shù)（使用的微芯片制造工藝），并在弗勞恩霍夫ISIT制造完成。為了開(kāi)發(fā)合適的MEMS掃描儀，ISIT科學(xué)家優(yōu)化了掃描儀的驅(qū)動(dòng)，使MEMS反射鏡具有較大的偏轉(zhuǎn)角和180°的視野。此外，科學(xué)家還改進(jìn)了組件設(shè)計(jì)，以避免在這些大角度處產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力，從而提高了使用壽命和可靠性。 不僅如此，科學(xué)家們還詳細(xì)研究了MEMS反射鏡在沖擊或振動(dòng)下的機(jī)械行為，以確保在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中的機(jī)械穩(wěn)定性。最后，科學(xué)家將圓頂形玻璃蓋安裝在MEMS反射鏡上。這種玻璃穹頂不僅可以保護(hù)設(shè)備免受環(huán)境影響，還可確保設(shè)備的高光學(xué)質(zhì)量。
該新MEMS掃描儀非常堅(jiān)固，且具有大掃描角度、高機(jī)械強(qiáng)度和穩(wěn)定耐用性。 項(xiàng)目合作伙伴已于2021年夏季完成了完整的激光雷達(dá)系統(tǒng)并測(cè)試了性能。
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