穆?tīng)栯娮踊诜植际降睦砟罴皠?chuàng)新技術(shù)已應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的光刻機(jī)、PVD、CMP、離子注入機(jī)、清洗設(shè)備等多款核心關(guān)鍵設(shè)備。融合新技術(shù)、控制生產(chǎn)、提高效率、降低成本，是保持半導(dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的重要手段。
其中，薄膜形成的PVD工藝是半導(dǎo)體工藝流程中的重要環(huán)節(jié)之一，它直接影響到了集成電路獲取的良品率。
應(yīng)用背景
設(shè)備中涉及400個(gè)左右的信號(hào)需要處理，包括數(shù)字量、模擬量和計(jì)數(shù)器。企業(yè)需要尋找行業(yè)中穩(wěn)定且應(yīng)用廣泛的IO系統(tǒng)來(lái)連接設(shè)備。需求穩(wěn)定、精確、高效和經(jīng)濟(jì)性的數(shù)字化通信和分布式安裝解決方案。
應(yīng)用挑戰(zhàn)
● PVD設(shè)備對(duì)系統(tǒng)的持續(xù)運(yùn)行和設(shè)備的穩(wěn)定性要求很高，不必要的停機(jī)或者非計(jì)劃的停機(jī)都有可能導(dǎo)致PVD設(shè)備內(nèi)部腔體的損壞。
● 設(shè)備的IO系統(tǒng)需要可以在全球購(gòu)買到同樣的備件，達(dá)到后續(xù)全球化的愿景。
● 節(jié)省大量的安裝時(shí)間，提高成本效益。
穆?tīng)栯娮咏鉀Q方案
● 集成智能電流監(jiān)控(Mico)功能
過(guò)壓，過(guò)載，短路保護(hù)
● 更靈活的組合應(yīng)用
每個(gè)I / O模塊具備32個(gè)通道，最多可配置488個(gè)I / O(寬度僅90cm)
● 最小地址需求
整個(gè)系統(tǒng)可帶1024個(gè)點(diǎn)，只需一個(gè)IP地址
CUBE67&CUBE20 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
縮小控制柜尺寸，安裝快速簡(jiǎn)便，通過(guò)“自動(dòng)查找故障而不是搜尋故障”，從而提高生產(chǎn)效率。
● 以客戶為導(dǎo)向的安裝理念，針對(duì)任何特定應(yīng)用的完美定制解決方案。
● 通過(guò)降低設(shè)計(jì)和安裝布線工作量，實(shí)現(xiàn)良好的成本效益。
● 通過(guò)多功能接口和眾多功能模塊提供極高的靈活性。(IO-Link,RS485/MOVIMOT?…)
● 獨(dú)立的系統(tǒng)對(duì)全球所有通用總線系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了“更換總線而無(wú)需更換系統(tǒng)”。
● 通過(guò)精確和詳細(xì)的診斷選項(xiàng)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)透明運(yùn)行。
Emparro電源和MicoPro，用于管理24V直流的模塊化系統(tǒng)
穆?tīng)栯娮油瑫r(shí)還提供了針對(duì)未來(lái)的解決方案。Emparro開(kāi)關(guān)電源，不但設(shè)計(jì)緊湊，而且保證最大可靠性高效率供電。Mico Pro智能電流模組，可以實(shí)現(xiàn)更加智能的24V直流電源管理，借助Mico Pro能夠調(diào)整當(dāng)前的電流監(jiān)測(cè)。即使在空間和成本有限的情況下，也能游刃有余。Mico Pro智能電流模組持續(xù)監(jiān)測(cè)所有的負(fù)載和控制電流，并在正確的時(shí)間識(shí)別關(guān)鍵時(shí)刻狀態(tài)。這保證了最佳的機(jī)器可用性，同時(shí)集成的電位分配，大大簡(jiǎn)化了開(kāi)關(guān)柜的布線。
（轉(zhuǎn)載）
