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歐姆龍新品發(fā)布丨高性能溫控單元NX-HTC:滿足因半導體微型化和疊層化而日益嚴苛的溫控要求

ainet.cn   2023年06月20日

2023年6月,歐姆龍自動化(中國)有限公司新品【高性能溫控單元NX-HTC】正式發(fā)布。先進的溫控技術,滿足因半導體微型化和疊層化而日益嚴苛的溫控要求,助力日益復雜的制造業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

為實現(xiàn)高度數(shù)字化的社會,半導體微型化、層疊化,溫度對產(chǎn)品質(zhì)量的影響也隨之增大,導致對溫控的要求日益嚴苛:

● 維持現(xiàn)有占地面積的前提下,實現(xiàn)多點控制

● 必須提高溫控性能,減小溫控波動幅度,實現(xiàn)精密加工

● 快速檢測工件、設備、環(huán)境變化導致的溫度曲線的細微變化,發(fā)現(xiàn)缺陷,減少浪費

● 將日常干擾造成的溫度波動降到最低,最大限度提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)能力

【高性能溫控單元NX-HTC】通過節(jié)省空間和可視化特征量,助力滿足嚴苛的溫控要求,進而提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

產(chǎn)品優(yōu)勢

① 節(jié)省約40%空間

課題:為了更準確地測量溫度,需要增加溫控點數(shù),這會增加設備數(shù)量,難以維持現(xiàn)有占地面積

NX-HTC每臺單元支持8Ch控制*1。與使用兩臺傳統(tǒng)產(chǎn)品NX-TC 4Ch相比,在寬度方面節(jié)省了約40%的空間,提高了單位面積的生產(chǎn)能力。

*1. 標準控制情況下

NX-HTC搭配小型連接器端子臺XW2K和專用電纜,進一步節(jié)省空間,減少柜內(nèi)占用面積。

② 提升溫控性能,溫度分辨率可達0.01℃

課題:所需的加工精度日漸精密,為了提升生產(chǎn)質(zhì)量,必須減小溫控波動幅度

NX-HTC在廣闊的溫度范圍內(nèi)具備0.01°C的高分辨率,有助于在高溫條件下實現(xiàn)高精度溫控。

③ 特征量可視化功能

課題:

● 不可預測的外部干擾引發(fā)晶圓翹曲等工件變形現(xiàn)象和加熱器或傳感器錯位或老化等設備變化導致合格率降低

● 出現(xiàn)缺陷時,需要花時間調(diào)查發(fā)生異常的范圍和原因

NX-HTC的特征量可視化功能,可以將生產(chǎn)期間和溫度上升期間的溫度波形變化自動轉(zhuǎn)化為特征量。

通過監(jiān)視特征量數(shù)據(jù)的趨勢,可以檢測工件、環(huán)境和設備的細微變化,量化管理設備狀態(tài)。由此及早發(fā)現(xiàn)設備狀態(tài)異常,助力減少缺陷產(chǎn)品,從而減少浪費。

④ 將日常干擾造成的溫度波動降到最低

課題:

● 溫控要求因半導體微型化和層疊化而日益嚴苛,常規(guī)外部干擾引起的溫度變化會影響品質(zhì)

● 常規(guī)外部干擾導致的溫度變化需要等待一定時間才能達到穩(wěn)定狀態(tài),生產(chǎn)能力無法提升

NX-HTC/NX-TC自動抑制常規(guī)外部干擾導致的溫度變化,通過提升質(zhì)量、縮短溫度達到穩(wěn)定狀態(tài)所需的等待時間,助力提升生產(chǎn)能力。

外部干擾導致溫度變化示例

通過抑制溫度變化,溫度達到穩(wěn)定狀態(tài)所需的等待時間與以往相比減少了最多80%。

NX-HTC/NX-TC外部干擾抑制功能,將溫度變化控制在最低限度。

外部干擾抑制功能是一項控制功能,能夠針對可預測的外部干擾預先抑制溫度變化??赏ㄟ^在外部干擾出現(xiàn)前向溫控器單元輸入信號啟動本功能以增減操作量。通過外部干擾自動調(diào)諧功能,自動調(diào)整FF(前饋)操作量、FF動作時間和FF等待時間。

歐姆龍高性能溫控單元NX-HTC,通過先進的溫控技術,助力日益復雜的制造業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率!

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