Fully Auto有門道。

晶圓倉與潔凈室Stocker之間，高速的OHT系統(tǒng)連接，主要覆蓋Inter Bay，是生產(chǎn)物流“大動(dòng)脈”;

在Stocker與E-Rack再到機(jī)臺(tái)上下料環(huán)節(jié)，采用AMR，覆蓋Intra Bay，是工廠里的物流“毛細(xì)血管”。Inter Bay上主打一個(gè)快，Intra Bay中講究一個(gè)細(xì)膩。AMR與OHT互為補(bǔ)充，共同鋪開半導(dǎo)體生產(chǎn)的智能化升級(jí)通路。

1、集群調(diào)度

支持1000+AMR共場(chǎng)作業(yè)

多機(jī)型協(xié)同調(diào)度

2、全景覆蓋

全治具搬運(yùn)

強(qiáng)輻射、高潔凈、高震動(dòng)場(chǎng)景適配

3、系統(tǒng)兼容

智慧生產(chǎn)系統(tǒng)協(xié)同打通

實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)智慧物流建設(shè)

（來源：優(yōu)艾智合機(jī)器人）