作為半導體行業(yè)的關鍵元件，晶圓在半導體加工工序中需要在各個處理站之間快速、精確的傳送。

現(xiàn)代的科技技術已經(jīng)可以生產出納米級厚度的晶圓，如此昂貴、精密、易碎的晶圓在傳送過程中，如果依靠人工操作，很容易被損壞，且過程中會使晶圓表面受到污染。所以，真空機器人——真空晶圓搬送機械臂成為晶圓制造的核心設備之一。其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。

納博特斯克為了滿足真空晶圓搬送設備的潔凈度和穩(wěn)定性需求，推出了唇形真空密封件與精密減速機RV™緊湊融合而成的齒輪頭單元——HR系列。該系列產品因采用不會破裂的接觸式唇形密封件，結構緊湊，且安裝、使用方便，可有效縮短FPD搬運用機器人、晶圓搬運裝置的組裝時間，且有相當高的安全性。

內部搭載的納博特斯克精密減速機RV™產品在精密減速機領域中已有30年以上的實績，被廣泛應用在世界范圍內的制造業(yè)設備中。作為工業(yè)機器人關節(jié)部位的核心零部件，有著高精度、高剛性同時兼?zhèn)湫⌒汀⑤p量的特點，在實現(xiàn)精密動作的同時，為設備提供強大的承載能力。根據(jù)不同的安裝需求可替換組件品單元RV™系列/附帶對應多個公司伺服電機安裝零件的RD2系列作為內部減速機的型號。

【產品規(guī)格】

【應用場景】

如對產品感興趣，歡迎致電021-33632200咨詢。

納博特斯克旨在為客戶自動化設備的緊湊化和簡單設計、制作、組裝提供更加優(yōu)秀的解決方案。

今后，納博特斯克也會再接再厲為客戶著想，本著客戶的需求繼續(xù)開發(fā)新的產品陣容。

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關于納博特斯克

納博特斯克集團下屬的精密機械公司是精密擺線針輪減速機制造商，生產高性能減速機、中空軸減速機等各類高精尖產品。其生產的精密減速機具有高扭矩、高剛性、高耐過載沖擊荷載能力，兼有高精密和超低的背隙。上海納博特斯克(Nabtesco)傳動設備有限公司是2013年由上海機電股份有限公司和日本納博特斯克株式會社出資共同成立的一家面向中國市場提供精密減速機RV™產品及其技術服務的合資公司?？偛吭O立于中國上海，在廣州等多個城市設有銷售辦公室。

目前，納博特斯克的精密減速機RV™產品已在汽車生產、機床、半導體制造、食品工廠、醫(yī)療設備、搬運設備、檢測設備等領域廣泛應用。

納博特斯克作為精密減速機RV™產品的創(chuàng)立者，致力于不斷地產品創(chuàng)新，并始終堅持用獨到的傳動技術，為工業(yè)自動化產品提供安全、可靠、方便使用的高品質產品。以 “強力，細致，靈敏，站在產品制造前沿”為驅動，依靠已有的技術和知識，并進一步加強對本土客戶的技術服務能力，幫助客戶提升生產效率，降低綜合成本，創(chuàng)造更高價值。

“上海納博特斯克傳動設備有限公司順利通過國家機器人檢測與評定中心(廣州)的CR認證，獲得了國內首張行星擺線減速器CR證書，具有代表性意義。”

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公司名稱：上海納博特斯克傳動設備有限公司

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