在全球數(shù)字化的浪潮中，半導(dǎo)體行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。并且隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，對(duì)高性能半導(dǎo)體芯片的需求也在日益增長(zhǎng)。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，每一個(gè)環(huán)節(jié)都必須達(dá)到極高的精度和可靠性，以滿足日益嚴(yán)苛的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。載具傳送作為保障晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中安全、高效移動(dòng)的關(guān)鍵步驟，其創(chuàng)新和優(yōu)化對(duì)于整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)具有重要意義。
巴魯夫?yàn)槟峁└咝铱煽康妮d具傳送解決方案
精確與高效
無(wú)論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒，巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統(tǒng)能夠全自動(dòng)監(jiān)測(cè)AMHS的移動(dòng)，無(wú)論是在短距離的RGV應(yīng)用還是長(zhǎng)距離的OHV應(yīng)用中，都表現(xiàn)出極高的可靠性。
非接觸式定位
巴魯夫的非接觸式系統(tǒng)提供了精確的定位能力，確保晶圓能夠安全、可靠地傳送至每個(gè)工序，有效避免了擦傷和裂口的問(wèn)題。
可追溯性
系統(tǒng)還具備強(qiáng)大的可追溯性，能夠?qū)崟r(shí)記錄載具的位置，確保生產(chǎn)過(guò)程的透明度和追蹤能力。
接下來(lái)一起來(lái)看看巴魯夫產(chǎn)品在載具傳送環(huán)節(jié)的具體應(yīng)用：
檢測(cè)載具是否存在
Micromote®光學(xué)傳感器頭
如果要檢測(cè)裝載埠上是否有載架，巴魯夫的對(duì)射型和漫反射型傳感器以其扁平構(gòu)造巧妙集成于裝載埠，能夠節(jié)省空間并進(jìn)行精準(zhǔn)檢測(cè)，確保機(jī)器只在載具?？繒r(shí)啟動(dòng)，優(yōu)化生產(chǎn)流程。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
1、極為扁平的構(gòu)造
2、節(jié)省空間
3、單獨(dú)聚焦
可靠跟蹤載具
BVS視覺(jué)傳感器
為了能夠跟蹤AMHS系統(tǒng)中的載具，您可以為載具配置二維碼。巴魯夫的BVS視覺(jué)傳感器能夠識(shí)讀數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼和條形碼，從而能夠偵測(cè)到輸送載具的每一個(gè)動(dòng)作，確保您隨時(shí)掌握輸送載具的動(dòng)態(tài)。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
1、易于集成，操作簡(jiǎn)單直觀
2、所有數(shù)據(jù)均集中存儲(chǔ)調(diào)用
3、將大量數(shù)據(jù)與過(guò)程網(wǎng)絡(luò)分離，最大程度減少了數(shù)據(jù)負(fù)荷
持續(xù)檢測(cè)AMHS位置
BML磁柵編碼系統(tǒng)
采用巴魯夫的BML磁編碼位置測(cè)量系統(tǒng)，您可以實(shí)現(xiàn)對(duì)輸送車(chē)位置的精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)。這些傳感器可以根據(jù)您的特定測(cè)量需求進(jìn)行定制配置，具有高度精確性，確保您的載具順暢且準(zhǔn)確地傳送至裝載架。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量原理，即無(wú)磨損
2、極其可靠，高度精確
3、用途多樣，磁條最長(zhǎng)可達(dá)48m，可根據(jù)需求裁剪
檢測(cè)AMHS終端位置
BES電感式傳感器
我們?yōu)槟O(jiān)測(cè)載具輸送車(chē)的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的具體需求，巴魯夫的電感式、電容式或光電式傳感器能夠確認(rèn)AMHS位置是否正確，您的載具是否精確定位在裝載架上。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
1、非接觸式，無(wú)磨損
2、技術(shù)多樣性，高效應(yīng)對(duì)各種需求
半導(dǎo)體自動(dòng)化首選巴魯夫
在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展過(guò)程中，巴魯夫以其前瞻性的技術(shù)為您的生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)支撐。巴魯夫致力于提供創(chuàng)新的自動(dòng)化解決方案，通過(guò)集成先進(jìn)的傳感器、監(jiān)測(cè)技術(shù)和智能控制，優(yōu)化您的生產(chǎn)流程，提升產(chǎn)品質(zhì)量并降低成本，助力您應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的各種挑戰(zhàn)。
同時(shí)巴魯夫根據(jù)客戶(hù)的需求提供定制化的解決方案。無(wú)論是提高生產(chǎn)效率、優(yōu)化資源配置，還是增強(qiáng)生產(chǎn)過(guò)程的透明度和可追溯性，巴魯夫都能為您提供全面的支持。攜手巴魯夫，開(kāi)啟卓越之旅，立即探索我們的技術(shù)，讓創(chuàng)新引領(lǐng)您的生產(chǎn)。
（轉(zhuǎn)載）
