在半導(dǎo)體硅片制造中，涉及晶體生長、晶錠切片、外延生長、 晶圓設(shè)計、制造、封裝等多個流程，每一個工藝均至關(guān)重要。而晶體生長作為上游關(guān)鍵環(huán)節(jié)，不僅決定了晶體質(zhì)量，還直接影響到后續(xù)所有工序的質(zhì)量和最終器件的品質(zhì)與性能。

長晶爐是實現(xiàn)晶體生長的核心設(shè)備，承擔(dān)著制造優(yōu)質(zhì)晶體的重要任務(wù)，包含爐體、加熱系統(tǒng)等多個關(guān)鍵組成部分，這些部分共同作用，一同創(chuàng)造出適合晶體生長的環(huán)境。在晶體生長過程中，熱場和工藝條件決定了晶體的質(zhì)量、尺寸等關(guān)鍵指標(biāo)。

長晶爐設(shè)備運行時的溫度可達上千度，同時對于熱場監(jiān)控的要求也很高，需要在長晶過程中精準調(diào)控生長溫度，以保證為晶體生長提供適宜的溫度環(huán)境。水冷因其優(yōu)異的散熱性能和熱穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用在長晶爐腔體冷卻系統(tǒng)中。

針對該工藝的嚴苛要求，史陶比爾提供水冷回路的自動對接方案，可根據(jù)實際工況和使用環(huán)境定制設(shè)計，賦能長晶爐整體設(shè)備和工藝性能，進而提高晶體質(zhì)量。

01、將水路集成到一塊基板上，配合浮動和導(dǎo)向機構(gòu)，實現(xiàn)精準對接

02、全自動快速對接和斷開，溫控更靈活，大幅降低廢料率、穩(wěn)定晶體質(zhì)量;可在維護時提高效率，減少停機時間，保障生產(chǎn)連續(xù)性

03、流體接頭采用平頭無滴漏技術(shù)，高度密封，確保回路斷開時無介質(zhì)泄漏，確保生產(chǎn)安全和回路清潔

作為全球快速連接系統(tǒng)的領(lǐng)先制造商之一，史陶比爾積累了近70年深厚的工業(yè)連接經(jīng)驗，在航空航天、鐵路、核電、醫(yī)療設(shè)備、數(shù)據(jù)中心等多個跨行業(yè)領(lǐng)域擁有豐富液冷批量交付經(jīng)驗，能夠滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)的嚴苛要求。

結(jié)合遍布全國的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，我們能夠快速響應(yīng)客戶各階段需求，提供高效、本地化的支持，為您帶來長期穩(wěn)定的合作保障。

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