我國半導體設備領域長期受國外技術(shù)封鎖與壟斷，加快自主研發(fā)勢在必行。諸多國內(nèi)半導體設備廠商強勢崛起，如某領先集成電路與真空儀器設備廠商，秉持 “引領真空技術(shù)，支撐科技創(chuàng)新，促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展” 使命，為關鍵設備國產(chǎn)化貢獻卓著。

項目挑戰(zhàn)

該客戶研制的 PVD 鍍膜設備，系半導體工藝國產(chǎn)化重要成果。為精準把控蒸發(fā)或濺射的溫度、壓力、時間等工藝參數(shù)，客戶需將設備的傳感器、控制器、繼電器、電源等電氣自動化元件相聯(lián)接，以實現(xiàn)電力、信號與數(shù)據(jù)傳輸。針對關鍵電氣聯(lián)接部位的重載接插件，該客戶著重考量的因素涵蓋：

● 如何滿足設備運行環(huán)境的要求

(1) PVD鍍膜過程中產(chǎn)生的化學氣體或蒸氣往往對電氣材料產(chǎn)生腐蝕;

(2) 在一些特定的鍍膜工藝中，可能會產(chǎn)生高溫和高壓。

● 如何提高機械性能穩(wěn)定性

PVD設備運行過程中，連接器需要頻繁承受影響穩(wěn)定性的機械應力，如振動、沖擊、插拔等。

● 如何適應機柜設計，快速完成效果測試

如何根據(jù)電氣柜空間設計要求采用合適的重載聯(lián)接技術(shù)，并通過不同的連接器出線方式快速滿足設備測試要求，是客戶的又一困擾所在。

該客戶需要匹配的重載接插件解決方案以解決上述電氣柜聯(lián)接項目遇到的挑戰(zhàn)，并滿足半導體終端客戶對PVD鍍膜設備的高標準要求。經(jīng)過多方考量，最終找到了經(jīng)驗豐富的電聯(lián)接專家——魏德米勒。

解決方案

考慮到上述要求，魏德米勒憑借專業(yè)的技術(shù)能力和快速的服務能力，為客戶的PVD真空鍍膜設備項目提供了一套精準適用的重載接插件解決方案。

● 高防護設計

(1) 采用壓鑄鋁制成，其 IP65 / NEMA型 4X 外殼，防塵、防潮、防腐蝕;

(2) 可在-40°C至+125°C的寬溫度范圍工作;

(3) 防電磁干擾，可安全傳輸高達35A的電流以及高達830V的電壓。

● 抗機械壓力性能

(1) 清晰的聯(lián)鎖系統(tǒng)采用不銹鋼制成，通過獨有的專利保護的彈簧系統(tǒng)為接插件外殼聯(lián)鎖提供緊密接合，防止意外打開;

(2) 堅固的機械結(jié)構(gòu)能夠承受設備振動、沖擊和機械應力。

● 快速溝通響應和效果測試

魏德米勒與客戶進行了深入詳細的溝通，根據(jù)客戶電氣柜設計的特殊要求，為分源端和目標端的兩路重載都提供了頂出和側(cè)出兩種出線方案，并迅速進行了實際效果測試。

客戶的益處

采用魏德米勒的重載接插件解決方案后，該客戶的PVD真空鍍膜設備研制項目得以順利實施，并獲得了一系列重要收益：

● 終端客戶使用更為放心

通過高防護設計的重載接插件解決方案，該客戶大大提升了設備運行的安全可靠性，為其終端客戶提供了腐蝕、高溫等工藝環(huán)境下的安心之選。

● 提升設備性能和競爭力

基于魏德米勒重載接插件解決方案出色的機械性能，PVD真空鍍膜設備的電氣自動化系統(tǒng)獲得了更加穩(wěn)定可靠的聯(lián)接能力，為解決半導體設備國產(chǎn)化進程中的卡脖子問題貢獻一己之力。

● 快速完成選型、調(diào)試和交付

基于魏德米勒專業(yè)的咨詢和定制方案服務能力，大大簡化了前期咨詢和選型過程，快速找到符合客戶電氣柜設計需求的聯(lián)接方案。在交期緊張的情況下，僅用1周就完成了效果測試。

最終效果

隨著半導體國產(chǎn)化進程加快，對關鍵半導體設備的要求也越來越高，魏德米勒憑借強大的本地化定制服務能力，持續(xù)為客戶提供設備的電氣聯(lián)接項目保駕護航，為關鍵國產(chǎn)化設備的崛起提供助力。

（來源：魏德米勒）