在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，確保晶圓處理過(guò)程中介質(zhì)流量和壓力的精準(zhǔn)控制對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。流量的波動(dòng)，通常由出口的開(kāi)關(guān)操作引起，可能會(huì)對(duì)晶圓的質(zhì)量造成不利影響。在這一背景下，背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，它能夠保證在各個(gè)出口獨(dú)立控制的情況下，管線中的流量與壓力依然保持恒定。

以化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)漿料應(yīng)用為例：

這一步驟對(duì)于晶圓的拋光至關(guān)重要。通過(guò)精確控制漿料的供應(yīng)量，可以優(yōu)化材料的去除過(guò)程。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性，從而保障了CMP過(guò)程的均勻性和效率，這對(duì)于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義。

工藝流程圖

解決方案

蓋米推出GEMÜ C53 iComLine電動(dòng)控制閥，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性，成為實(shí)現(xiàn)背壓控制的理想選擇。

蓋米HydraLine系列電子壓力計(jì)的配合使用，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)壓力的精確測(cè)量，進(jìn)一步確保生產(chǎn)線的穩(wěn)定性。

方案優(yōu)勢(shì)

● 結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品，提供全面的一體化解決方案;GEMÜ C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制。GEMÜ C33壓力傳感器，提供精確的壓力測(cè)量。

● 提供多種連接類型，包括擴(kuò)口、入珠、PrimeLock、Nexus Connect®，以滿足多樣化的工藝需求;連接尺寸范圍廣泛，從1/4"到3/4"，適用于不同的設(shè)備和工藝要求。

● 所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料，確保耐腐蝕性和純凈度。

適配產(chǎn)品推薦

蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和卓越品質(zhì)，助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高標(biāo)準(zhǔn)。我們期待與您攜手，共同提升工藝效率。如需了解更多信息，請(qǐng)聯(lián)系蓋米閥門中國(guó)。

（來(lái)源：蓋米閥門中國(guó)）