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傳感器

歐姆龍成功事例 | 對強(qiáng)腐蝕性有機(jī)溶劑進(jìn)行液位檢測的方案

ainet.cn   2025年08月04日

應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】清洗機(jī)/CDS/SDS

【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

應(yīng)用場景

對儲液罐(tank)的液位進(jìn)行檢查。

解決課題

部分有機(jī)溶液(氫氟酸)具有腐蝕性,無法使用透明玻璃管顯示液位。

價值提案

核心產(chǎn)品:光纖傳感器E32-D82F1(接液型)、光纖放大器E3NX-FA

■ 接液型光纖傳感器可部署于儲液罐(tank)內(nèi)直接接觸液體測量

■ 200℃的耐熱性并有氟樹脂涂層,耐化學(xué)性強(qiáng),滿足清洗槽溫度和腐蝕要求,實現(xiàn)對有機(jī)溶液的液位檢測

相關(guān)產(chǎn)品

光纖傳感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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