應(yīng)用介紹
【行業(yè)】SEMI
【設(shè)備】清洗機(jī)/CDS/SDS
【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等
應(yīng)用場景
對儲液罐(tank)的液位進(jìn)行檢查。
解決課題
部分有機(jī)溶液(氫氟酸)具有腐蝕性,無法使用透明玻璃管顯示液位。
價值提案
核心產(chǎn)品:光纖傳感器E32-D82F1(接液型)、光纖放大器E3NX-FA
■ 接液型光纖傳感器可部署于儲液罐(tank)內(nèi)直接接觸液體測量
■ 200℃的耐熱性并有氟樹脂涂層,耐化學(xué)性強(qiáng),滿足清洗槽溫度和腐蝕要求,實現(xiàn)對有機(jī)溶液的液位檢測
相關(guān)產(chǎn)品
光纖傳感器E32
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
光纖放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
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