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傳感器

成功事例 | 基于光纖傳感的液體有無狀態(tài)平等檢測方案

ainet.cn   2025年08月22日

應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】清洗機(jī)/CDS/SDS

【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

應(yīng)用場景

通過側(cè)窗導(dǎo)管顯示液位的情況,并對液位進(jìn)行限制。

解決課題

1、按照生產(chǎn)要求,需要至少對四個液位位置(上限位置、供給停止位置、供給開始位置、下限位置)進(jìn)行判定。

2、檢測液位上下限的要求不同。

價值提案

核心產(chǎn)品:光纖傳感器E32-A01/A02(卡管型)、光纖放大器E3NX-FA

■ 小型卡管式安裝,快速部署四個液位位置的檢測。

■ 考慮到斷線時的安全,備有有液體狀態(tài)(A01)和無液體狀態(tài)(A02)下的入光兩種類型。

相關(guān)產(chǎn)品

光纖傳感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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