Micro LED在業(yè)界被視作OLED后, 下一代主流的面板技術(shù), 一些業(yè)界消息也報導(dǎo)了部份廠商將會在2018年開始投入試產(chǎn)。

　　市場預(yù)期Micro LED 將會優(yōu)先采用在智能手表, AR/VR 虛擬現(xiàn)實等穿載裝置, 戶外顯示器, 和汽車指示燈, 顯示屏等需要低耗電率和高亮度顯示的應(yīng)用。

　　Micro LED面板由多個尺寸僅2.5 至 5 um的超微型LED組成, 由于每顆LED代表一個像素, 相比目前的LCD或是OLED面板技術(shù), 提供更高的分辨率, 亮度(在陽光底下), 反應(yīng)時間, 以及更低耗電率等。

　　以下圖表比較了目前市場主流和開發(fā)中的面板技術(shù)的特性, 可看到Micro LED技術(shù)在多個方面較LCD 和 OLED面板技術(shù)具有優(yōu)勢, 目前唯一的缺點就是技術(shù)還沒有足夠成熟, 導(dǎo)致生產(chǎn)成本高昂。

　　在生產(chǎn)技術(shù)層面上, Micro LED制程中的大量轉(zhuǎn)移(Mass Transfer), 將會是技術(shù)成功與否的關(guān)鍵。大量轉(zhuǎn)移需要非常精密的運動控制系統(tǒng)精確而迅速地把LED轉(zhuǎn)移到目標(biāo)的基板上。用于轉(zhuǎn)移Micro LED的設(shè)備精度需要不低于±1.5 μm。

　　不過目前市場上相關(guān)的設(shè)備精度, 無論是同時轉(zhuǎn)移多顆LED的取放(Pick and Place)系統(tǒng), 或是轉(zhuǎn)移單顆LED的覆晶(flip chip)設(shè)備大都未能滿足Micro LED大量轉(zhuǎn)移的規(guī)格要求。 因此, 運動系統(tǒng)是其中一個業(yè)界需要尋求解決方案的課題, 藉此降低Micro LED的生產(chǎn)成本和提升良率。目前多家廠商和研究學(xué)院積極開發(fā)大量轉(zhuǎn)移的相關(guān)技術(shù)。

　　位置反饋系統(tǒng) (光柵)作為整個運動系統(tǒng)核心組件之一, 意味著對未來Micro LED制造技術(shù)的發(fā)展起著十分重要的作用。面板制程的設(shè)備目前探用的大型空氣軸承平臺，其典型運動誤差小于10 nm或10 arcsec。顯然，需要各廠商對其性能必須做出改進，方可滿足未來Micro LED設(shè)備在相關(guān)制造技術(shù)層面上對運動控制精度的要求。典型的光柵規(guī)格要求包括：帶有精細細分、周期誤差低、信號噪音(抖動)小、封裝尺寸小，以及具有可選的模擬/數(shù)字輸出功能。

　　多年來無論是在LCD或是目前火熱的OLED面板制程設(shè)備上的應(yīng)用, 雷尼紹的光柵產(chǎn)品早已證明他的出色性能和穩(wěn)定可靠性。雷尼紹最新推出的VIONiC?系系列數(shù)字光柵在保持性能表現(xiàn)的同時進一步提升工程師在設(shè)計設(shè)備時的靈活性。VIONiC光柵系統(tǒng)采用雷尼紹著名的光學(xué)濾波系統(tǒng)與全新定制的細分與監(jiān)控ASIC(專用集成電路)相結(jié)合，以增強動態(tài)信號處理能力并提高信號的穩(wěn)定性。

　　{ VIONiC成為雷尼紹迄今為止

　　最高性能的增量式光柵系統(tǒng) }

　　?VIONiC系列的設(shè)計在縮小總體尺寸的同時保持了系統(tǒng)的高性能，它在讀數(shù)頭內(nèi)部集成了所有必需的細分電路和數(shù)字信號處理功能，因此無需再使用其他外部接口。

　　?在周期誤差、抖動、速度、分辨率和精度等方面，VIONiC均在同類產(chǎn)品中保持領(lǐng)先水平。標(biāo)準(zhǔn)的VIONiC讀數(shù)頭的周期誤差 <±30 nm，有效分辦率范圍介于5 μm至20 nm之間，速度可超過12 m/s。

　　? 為了滿足最為嚴格的性能要求，雷尼紹還提供VIONiCplus?讀數(shù)頭，其周期誤差 <±10 nm，抖動低至 <1.6 nm RMS，分辨率范圍可從100 nm低至2.5 nm，各項性能指針均能滿足目前絕大部份苛刻的運動控制應(yīng)用。

（轉(zhuǎn)載）