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造車工藝

美國科學家直接將VCSEL集成至電子芯片 可用于自動駕駛傳感技術

ainet.cn   2022年12月14日

當你使用面部識別解鎖手機的時候,手機如何知道你是你呢?其實是有一組微小的激光照亮你的臉,然后手機會利用反射的激光構建一個3D模型,就跟臉部地形圖一樣,如此一來,手機軟件就可以利用該模型決定是否解鎖手機。

此類稱為垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)的微小激光器使得該技術成為可能。傳統(tǒng)而言,此類激光器被用于短程數(shù)據(jù)傳輸、激光打印機,甚至是電腦鼠標。不過,自從其開始出現(xiàn)在主流面部識別和3D成像技術以來,人們對該激光器的需求就出現(xiàn)了爆炸性增長,而且還要求此類激光器變得更高效、更緊湊。

據(jù)外媒報道,美國伊利諾伊大學香檳分校格雷格工程學院(UNIVERSITY OF ILLINOIS GRAINGER COLLEGE OF ENGINEERING)電氣與計算機工程系教授John Dallesasse研究小組的研究生Leah Espenhahn演示了一種直接將VCSEL集成至電子芯片中的新工藝。她采用一種稱為外延轉移(epitaxial transfer)的方法,直接在硅微電子器件上打造VCSEL,就像在硅器件中為激光器創(chuàng)建了小島,并表示:與獨立打造VCSEL,再將其連接到微電子器件的標準設備相比,采用外延轉移法打造的VCSEL更緊湊、性能更好、更不易過熱。


Espenhahn拿著完全集成在硅上的VCSEL晶圓(圖片來源:伊利諾伊大學香檳分校格雷格工程學院)

VCSEL屬于一種半導體激光器。與其他激光器一樣,能夠產(chǎn)生強烈集中的光束,但其完全由半導體材料制成。這意味著,同樣由半導體材料制成的電子微芯片的制造技術可適用于激光器。

許多半導體激光器都是從側面發(fā)射激光,即光束會平行于電觸點。此類設備需要額外的傳統(tǒng)制造步驟,以確保有一個光滑表面,讓激光能夠順利離開材料。相比之下,VCSEL產(chǎn)生的激光則垂直于電觸點,并垂直穿過頂層,簡化了制造過程,為設計更緊湊的設備打開了大門。

創(chuàng)建VCSEL陣列的標準方法是手動將預制激光器以倒裝芯片綁定的方式焊接到電子芯片上,該過程十分耗時,而且精度有限。如果要讓最終的設備更小更高效,則需要在微芯片上將其與電子設備直接集成到一起。

Espenhahn通過將未被處理的VCSEL設備結構連接到臨時平臺上來實現(xiàn)這一點。在為單個激光器蝕刻不同的材料之后,會將一層粘合材料至于上方。然后將臨時平臺翻轉并置于主硅平臺之上,讓不同的材料粘合在一起。在移除臨時平臺之后,會留下一組由外延轉移法制成的材料,可用于加工成VCSEL設備。

由于VCSEL是在轉移過程之后制造的,因而與倒裝芯片綁定的器件相比,能夠以更精確地方式放置到電子電路上。此外,最后制成的器件也會擁有更好的熱性能,實現(xiàn)更強的可控性。

面部識別只是激光雷達技術的一個應用,該技術會利用反射的激光在計算機上創(chuàng)建圖像或模型?;?/FONT>VCSEL的激光雷達的另一個突出應用是用于自動駕駛汽車視覺與傳感技術。

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