眾所周知，半導(dǎo)體的晶圓是由硅加工而成的。在經(jīng)過一系列上游工序后，材料硅被高純度提煉，溶解后摻入硅晶體晶種，通過直拉法形成圓柱體單晶硅。再經(jīng)過研磨、拋光、切片等一系列下游工序，形成硅晶圓片，也就是晶圓。作為半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，晶圓在后續(xù)的半導(dǎo)體加工工序中需要在各個(gè)處理站之間快速、精確的傳送。
現(xiàn)代技術(shù)已可以生產(chǎn)出納米級(jí)厚度的晶圓，如此昂貴、精密、易碎的晶圓在傳送過程中，如果依靠人工操作，很容易被損壞，且過程中會(huì)使晶圓表面受到污染。所以，真空機(jī)器人——真空晶圓搬送機(jī)械臂成為晶圓制造的核心設(shè)備之一。其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。
將晶圓從預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置，等待大氣機(jī)械臂放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，機(jī)械臂必須要完全滿足真空潔凈度的要求，如此對(duì)控制精度和可靠性的要求就極為嚴(yán)苛。
不過，納博特斯克最擅長的就是接受高難度的挑戰(zhàn)。經(jīng)過潛心研究，反復(fù)實(shí)驗(yàn)，納博特斯克最終推出了唇形真空密封件與精密減速機(jī)RV?緊湊融合而成的齒輪頭單元——HR系列，滿足了真空晶圓搬送設(shè)備的需求，再一次助力推動(dòng)了半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。該系列產(chǎn)品因采用不會(huì)破裂的接觸式唇形密封件，結(jié)構(gòu)緊湊，且安裝、使用方便，可縮短FPD搬運(yùn)用機(jī)器人、晶圓搬運(yùn)裝置的組裝時(shí)間，且有相當(dāng)高的安全性。
如對(duì)產(chǎn)品感興趣，歡迎致電021-33632200咨詢。
納博特斯克旨在為客戶自動(dòng)化設(shè)備的緊湊化和簡單設(shè)計(jì)、制作、組裝提供更加優(yōu)秀的解決方案。
今后，納博特斯克也會(huì)再接再厲為客戶著想，本著客戶的需求繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品陣容。
如對(duì)納博特斯克的精密減速機(jī)RV?產(chǎn)品感興趣，請掃描二維碼，進(jìn)入小程序詳細(xì)了解吧。
關(guān)于納博特斯克
納博特斯克集團(tuán)下屬的精密機(jī)械公司是精密擺線針輪減速機(jī)制造商，生產(chǎn)高性能減速機(jī)、中空軸減速機(jī)等各類高精尖產(chǎn)品。其生產(chǎn)的精密減速機(jī)具有高扭矩、高剛性、高耐過載沖擊荷載能力，兼有高精密和超低的背隙。上海納博特斯克(Nabtesco)傳動(dòng)設(shè)備有限公司是2013年由上海機(jī)電股份有限公司和日本納博特斯克株式會(huì)社出資共同成立的一家面向中國市場提供精密減速機(jī)RV?產(chǎn)品及其技術(shù)服務(wù)的合資公司?？偛吭O(shè)立于中國上海，在廣州、重慶等多個(gè)城市設(shè)有銷售辦公室。
目前，納博特斯克的精密減速機(jī)RV?產(chǎn)品已在汽車生產(chǎn)、機(jī)床、半導(dǎo)體制造、食品工廠、醫(yī)療設(shè)備、搬運(yùn)設(shè)備、檢測設(shè)備等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
納博特斯克作為精密減速機(jī)RV?產(chǎn)品的創(chuàng)立者，致力于不斷地產(chǎn)品創(chuàng)新，并始終堅(jiān)持用獨(dú)到的傳動(dòng)技術(shù)，為工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品提供安全、可靠、方便使用的高品質(zhì)產(chǎn)品。以 “強(qiáng)力，細(xì)致，靈敏，站在產(chǎn)品制造前沿”為驅(qū)動(dòng)，依靠已有的技術(shù)和知識(shí)，并進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)本土客戶的技術(shù)服務(wù)能力，幫助客戶提升生產(chǎn)效率，降低綜合成本，創(chuàng)造更高價(jià)值。
上海納博特斯克傳動(dòng)設(shè)備有限公司順利通過國家機(jī)器人檢測與評(píng)定中心(廣州)的CR認(rèn)證，獲得了國內(nèi)首張行星擺線減速器CR證書，具有代表性意義。
聯(lián)系方式
如對(duì)納博特斯克的產(chǎn)品感興趣，歡迎登錄上海納博特斯克傳動(dòng)設(shè)備有限公司官網(wǎng)或電話咨詢。
公司名稱：上海納博特斯克傳動(dòng)設(shè)備有限公司
公司地址：上海市浦東新區(qū)福山路388號(hào)17層1706室
聯(lián)系電話：021-33632200
（轉(zhuǎn)載）
