半導(dǎo)體作為培育新質(zhì)生產(chǎn)力的核心領(lǐng)域，其制造能力的升級已成為全球產(chǎn)業(yè)競爭的戰(zhàn)略焦點(diǎn)。
作為工業(yè)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新引領(lǐng)者，Elmo始終以突破半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸為使命，依托其行業(yè)領(lǐng)先的多軸運(yùn)動(dòng)控制器及全流程運(yùn)動(dòng)控制解決方案，持續(xù)賦能全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)革新與產(chǎn)能升級。現(xiàn)在就讓我們來盤點(diǎn)一下ELMO伺服系統(tǒng)如何賦能8大關(guān)鍵應(yīng)用場景。
應(yīng)用場景1：蝕刻(前道)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，蝕刻是用于化學(xué)去除表面層的工藝，通常涉及真空室，在整個(gè)過程中，保持關(guān)鍵尺寸(晶體管、柵極等)的精確和統(tǒng)一控制是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，也是挑戰(zhàn)最大的部分。
Elmo伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)和XY工作臺(tái)極低的運(yùn)動(dòng)抖動(dòng)以及極低的波紋速度。
應(yīng)用場景2：化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)
化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是實(shí)現(xiàn)晶圓全局平坦化的關(guān)鍵工藝，指的是通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同配合作用，實(shí)現(xiàn)晶圓表面多余材料的高效去除與全局納米級平坦化，有助于為前道工藝制備晶片。
Elmo伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)可靠耐用速度,扭矩控制得當(dāng),EtherCAT表現(xiàn)優(yōu)異。
應(yīng)用場景3：原子層沉積(ALD)
原子層沉積 (ALD) 是通過逐步沉積導(dǎo)電薄膜和隔離薄膜實(shí)現(xiàn)精確成膜的化學(xué)工藝，對運(yùn)動(dòng)和速度控制的精度要求極高。
Elmo 伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)：憑借集成化硬件與軟件協(xié)同方案，確保薄膜沉積的均勻性與穩(wěn)定性。
應(yīng)用場景4：引線鍵合
引線鍵合是芯片與基板互連的核心工藝，面臨超高加速度偏差、龍門機(jī)構(gòu)同步性不足、齒槽力干擾及壓力控制四大挑戰(zhàn)。
Elmo 通過分布式龍門控制與動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償技術(shù)，實(shí)現(xiàn)力控精度 < 0.5N，保障鍵合可靠性。
應(yīng)用場景5：晶圓切割
晶圓切割是用切割鋸或激光切割機(jī)將晶片切割成單個(gè)電路，每個(gè)電路稱為一個(gè) "芯片"。傳統(tǒng)的硅晶圓切割采用的是人工切割，但效率低、切割后晶粒受損等問題仍然存在。
Elmo伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)：精確控制刀具的位置和速度保證切割后晶粒的完整性。
應(yīng)用場景6-8：晶圓固晶/運(yùn)輸/檢測
除前道核心工藝外，Elmo的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)還深度賦能封裝環(huán)節(jié)的固晶貼片、晶圓傳輸及晶圓檢測等關(guān)鍵工藝，并在半導(dǎo)體制造全流程中沉淀了豐富的工藝 know-how，通過多軸同步控制、動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償?shù)群诵募夹g(shù)持續(xù)提升制造精度與效率。
通過將高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與柔性制造技術(shù)深度融合，Elmo不僅為半導(dǎo)體制造核心工藝提供了卓越的動(dòng)態(tài)性能保障，更以技術(shù)創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，有力推動(dòng)著半導(dǎo)體制造的運(yùn)動(dòng)控制向更高精度、更高效率的智能化方向邁進(jìn)。
2025慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展將于3月26-28日在上海盛大開幕。Elmo運(yùn)動(dòng)控制與合作伙伴天津羅升將以"技術(shù)縱深+本土賦能"的協(xié)同優(yōu)勢，呈現(xiàn)覆蓋半導(dǎo)體前道至封測環(huán)節(jié)的全產(chǎn)業(yè)鏈運(yùn)動(dòng)控制解決方案。這將是一場技術(shù)與合作的盛會(huì)，誠摯邀請您蒞臨我們的聯(lián)合展位(展位號(hào)：W3，3642)，共同探索半導(dǎo)體行業(yè)的前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)未來!
（轉(zhuǎn)載）
