應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】爐管

【用途】用于晶圓的批量熱處理

使用場(chǎng)景

檢測(cè)石英晶圓舟晶圓是否有突出，防止自動(dòng)取片時(shí)發(fā)生異常。

場(chǎng)景：晶舟上wafer的突出檢測(cè)

解決課題

1、多達(dá)150片wafer時(shí)的高度檢測(cè)，容易發(fā)生wafer的橫向移動(dòng),需要穩(wěn)定檢測(cè)。

2、因檢測(cè)距離遠(yuǎn)，調(diào)試時(shí)光軸對(duì)準(zhǔn)難度大。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：距離設(shè)定型光電開關(guān) E3Z-LR

● 1級(jí)激光光源，保證遠(yuǎn)距離的檢測(cè)下可檢測(cè)1mm的位置變化。

● 激光束方向的變化可被抑制并且光點(diǎn)直徑可自由更改，方便遠(yuǎn)距離時(shí)光軸的調(diào)整。

相關(guān)產(chǎn)品

E3Z-LT / LR / LL

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/

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