應用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設備】EFEM

【用途】用于半導體前道各種工藝機臺的晶圓傳輸

使用場景

檢測cassette內(nèi)wafer是否有凸出，防止自動取片時發(fā)生異常。

場景：cassette內(nèi)wafer的突出檢查

解決課題

應對不同材質wafer的檢測需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。

價值提案

核心產(chǎn)品：光纖傳感器 E32/E3NX-FA

配備自動調(diào)諧、以及APC&DPC自動投光&受光校正，方便快速對應各種透明度的wafer。

相關產(chǎn)品

光纖傳感器E32系列

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

智能光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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